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河南省超高純硅材料工程研究中心
河南省超高純硅材料工程研究中心于2016 年獲批復建設成立，圍繞硅材料重點和難點問題，研究實驗開發(fā)超高純材料制備關鍵工藝技術（ 含系統(tǒng)的節(jié)能技術、環(huán)保技術）和核心裝備技術，開展相關硅產(chǎn)業(yè)結(jié)構優(yōu)化升級的新理論、新技術、新工藝、新裝備研發(fā)，培養(yǎng)產(chǎn)業(yè)工程設計技術創(chuàng)新人才，促進重大科技成果應用，建立硅產(chǎn)業(yè)各領域系統(tǒng)的技術標準、規(guī)范，為超高純產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供有力支撐。本中心依托中硅高科的電子功能材料研發(fā)平臺組建，通過對綜合研究開發(fā)樓進行環(huán)境優(yōu)化提升，建設了4個試驗平臺和1個綜合測試分析中心，包括：硅基電子氣體試驗平臺、光纖四氯化硅試驗平臺、硅烷試驗平臺、超高純多晶硅試驗平臺和綜合測試分析中心。以打造國內(nèi)硅基材料產(chǎn)業(yè)關鍵技術供給、促進硅產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)跨越式發(fā)展為目標，以硅材料工程設計自主創(chuàng)新、提升硅產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展能力為重要源頭，累計投入建設資金6562.85萬元，配備試驗線所需高純設備、管線、充裝、儲存、檢測設備300余臺套。
